HSINCHU, 28 novembre 2023 /PRNewswire/ — Spirox Corporation (TWSE: 3055) et sa filiale Southport Corporation lancent le premier système d’inspection non destructive des défauts JadeSiC-NK. JadeSiC-NK utilise une technologie optique non linéaire de pointe pour scanner les substrats SiC dans leur intégralité afin d’identifier les défauts critiques. Il remplace la méthode de gravure KOH (hydroxyde de potassium), coûteuse et destructrice, et permet d’augmenter les rendements et d’améliorer les processus. En se basant sur la nécessité de graver deux substrats pour chaque lingot de SiC dans le processus KOH, JadeSiC-NK permet d’économiser environ 7,68 millions de dollars en coûts annuels dus aux pertes de gravure pour un fabricant de substrats disposant de 100 fours de croissance cristalline.
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La qualité des matériaux de substrat détermine la fiabilité et les performances des puces SiC. Cependant, le nombre de défauts et la répartition des cristaux du substrat ne peuvent être inspectés que par échantillonnage avec interpolation mathématique lors de l’utilisation de la méthode de gravure destructive au KOH. Si les fabricants de substrats SiC peuvent mettre en œuvre une inspection non destructive des matériaux dans le processus de fabrication, cela permettra non seulement de réduire l’utilisation de solutions chimiques nocives associées à la gravure KOH, mais aussi de détecter les défauts à un stade précoce.
Jay Wang, directeur général de Southport, a déclaré : « Les technologies optiques traditionnelles ne peuvent détecter que les défauts non cristallins de surface. JadeSiC-NK permet un balayage de la surface de la plaquette entière à une profondeur spécifique afin d’identifier efficacement les défauts critiques (BPD, TSD, MicroPipe, défauts d’empilage). Par rapport à la méthode de gravure KOH, JadeSiC-NK permet de réduire considérablement le temps d’inspection et le coût des substrats. En outre, JadeSiC-NK permet d’inspecter 100 % des plaquettes d’un même lingot, ce qui facilite l’analyse détaillée des lingots et l’analyse de la traçabilité des lots, ce qui aidera les clients à optimiser le processus et le rendement.
Hao-Chung Kuo, professeur titulaire du département d’ingénierie optoélectronique de la NYCU de Taïwan, a commenté : « En appliquant la technologie optique non linéaire, JadeSiC-NK devrait permettre de surmonter les obstacles techniques de l’industrie actuelle en ce qui concerne l’amélioration des processus. Nous espérons que JadeSiC-NK établira des normes industrielles pour l’inspection des substrats SiC, qu’il deviendra une marque de premier plan dans l’industrie de la technologie optique non linéaire et qu’il conduira à une innovation continue et à des avancées dans les applications sur le terrain. »
Paul Yang, PDG de Spirox, a indiqué : « Spirox n’a cessé d’accroître ses investissements pour mettre au point des solutions qui répondent aux besoins de ses clients. Avec Southport, Spirox élargit son portefeuille de produits de l’équipement d’essai des semi-conducteurs à l’inspection optique. La priorité est donnée à l’inspection très prometteuse des défauts des matériaux semi-conducteurs composés. Outre l’application de la technologie optique non linéaire dans le JadeSiC-NK récemment lancé, Spirox prévoit d’accélérer la commercialisation de technologies d’inspection optique avancées dans des domaines tels que les MicroLED, les métamatériaux, la photonique du silicium, etc. »
Ken Tai, président de l’association pour le développement de l’industrie et de la technologie de la photonique de Taïwan, a ajouté : « C’est un grand plaisir de voir deux entreprises taïwanaises créer une synergie par le biais d’une collaboration mutuellement bénéfique, qui génère une valeur considérable pour l’industrie. JadeSiC-NK représente une avancée technologique révolutionnaire. Il s’agit non seulement d’un produit révolutionnaire pour l’industrie mondiale des semi-conducteurs composés en plein essor, capable de réduire considérablement les coûts et d’augmenter la capacité de production, mais aussi d’une preuve du leadership technologique de Taïwan, dont Spirox et Southport sont les représentants. »
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