KAOHSIUNG, 25 octobre 2023 /PRNewswire/ — Le 19 septembre 2023, Intel a annoncé l’un des premiers substrats en verre de l’industrie pour les emballages avancés de la prochaine génération. L’industrie estime que les substrats en verre émergent comme un matériau d’interposition alternatif prometteur, en particulier pour les emballages hétérogènes, tels que les emballages 2,5D ou 3D.
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Alors que la demande pour l’IA, le calcul haute vitesse (HPC) et le calcul puissant continue de croître, il est de plus en plus nécessaire d’augmenter le nombre de transistors dans un seul boîtier. Cependant, les matériaux organiques traditionnels comme le silicium, couramment utilisés pour les interposeurs, rencontrent des limites. Les substrats en verre offrent de nombreux avantages, notamment une planéité exceptionnelle, une stabilité thermique élevée et une rigidité. Ces attributs permettent la miniaturisation et l’intégration de transistors sur un substrat en verre.
E&R, un fournisseur d’innovation laser avancé, crée une solution optique accélérée développée par ses soins (ACES) combinée à une technologie laser avancée pour fournir des solutions complètes pour les substrats en verre depuis plusieurs années, y compris l’interconnexion verticale à travers le verre, le polissage laser du verre, des solutions de découpe laser à trajectoire multifaisceaux pour le verre.
Le traitement des substrats en verre présente des défis importants, principalement en raison de leur grande durabilité, en particulier dans le cadre de la réalisation d’emballages 2,5D ou 3D grâce à la technique d’interconnexion verticale à travers le verre. Ce défi est encore compliqué par les exigences strictes en matière de précision rigoureuse et de taille des trous d’interconnexion.
« L’UPH est la clé.
La technique d’interconnexion verticale à travers le verre, une méthode essentielle pour les substrats en verre pour obtenir un emballage 2,5D/3D, implique une modification interne pour les processus de gravure humide ultérieurs. Actuellement, la méthode d’interconnexion verticale à travers le verre la plus courante utilise un faisceau de filamentation pour générer plusieurs plans de modification interne, avec environ 50 trous par seconde seulement. Cependant, E&R a opté pour un système de faisceau Bessel comme solution complète d’optique développée par nos soins (ACES) et de laser, ce qui augmente considérablement le nombre de trous par seconde et la précision. Actuellement, nous pouvons atteindre entre 600 et 1 000 trous par seconde pour la disposition aléatoire tout en maintenant une précision de 5 um -3 sigma », a mentionné Vic Chao, directeur scientifique d’E&R.
La machine entièrement automatisée de TGV d’E&R peut traiter des panneaux en verre jusqu’à 600 mm*600 mm, avec une épaisseur jusqu’à 1 100 um, tout en obtenant un bon rapport d’aspect de 1:10. Le diamètre des trous d’interconnexion peut être contrôlé de 50 um à 200 um avec une paroi latérale sans défaut, dont la rugosité peut atteindre ≤ 1 um après la gravure.
E&R participera au Semicon Europa 2023 du 14 au 17 novembre à la MESSE München, en Allemagne, stand B2378. N’hésitez pas à nous rendre visite pour explorer d’autres possibilités pour votre application.
Lien de référence : https://www.allaboutcircuits.com/news/intel-develops-glass-substrate-for-next-generation-advanced-chip-packaging-needs/
Contact pour les médias : kevincy_chang@enr.com.tw
Photo : https://mma.prnewswire.com/media/2254427/E_R_ACES_Solution.jpg
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