SAN LUIS OBISPO, Californie, 28 juillet 2023 /PRNewswire/ — Cet achat prévu, qui sera livré à Senic au quatrième trimestre 2023, renforce la position du 6EZ en tant que plateforme de polissage mécano-chimique (CMP) la plus flexible disponible pour soutenir la fabrication de substrats en carbure de silicium (SiC) et la fabrication de dispositifs tels que les MOSFET à base de SiC.
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Le récent lancement du kit de conversion 200 mm du 6EZ permettra à l’outil de prendre en charge la fabrication de substrats SiC de 150 mm et 200 mm sur le site de Senic à Cheonan, en Corée du Sud.
Le système CMP 6EZ a été développé avec la meuleuse SiC 7AF-HMG de Revasum pour éliminer les dommages subsuperficiels causés par le processus de meulage. Le 6EZ permet d’obtenir une variation d’épaisseur totale (TTV) minimale sur la plaquette et une rugosité de surface (RA) de l’ordre de 1,5 angström.
Chris Sloan, vice-président des ventes mondiales et du marketing de Revasum, a commenté le développement du partenariat avec ce client stratégique en Corée du Sud : « Il s’agit d’une nouvelle étape importante pour Revasum dans le paysage véritablement mondial de la fabrication de substrats en carbure de silicium. La demande de dispositifs en carbure de silicium oblige les chaînes d’approvisionnement internationales à s’aligner pour soutenir l’effort et, avec notre plateforme 6EZ CMP de pointe, nous sommes heureux d’établir un partenariat avec l’équipe innovante de Senic. »
M. J.D. Seo, vice-président du service commercial des plaquettes de Senic, a déclaré : « Nous pensons que ce partenariat créera une synergie positive entre les deux entreprises et, grâce au système CMP 6EZ de Revasum, Senic sera en mesure de fournir à ses clients des plaquettes de SiC avec une meilleure qualité de surface. Le 6EZ ayant déjà fait ses preuves dans la fabrication de substrats en carbure de silicium, nous pensons que le système 6EZ est la meilleure option pour Senic alors que nous augmentons notre production pour répondre aux demandes de l’industrie mondiale. »
À propos de Revasum, Inc. :
Revasum (https://www.revasum.com) fabrique des biens d’équipement utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs. Notre portefeuille actuel de produits comprend des équipements de meulage et de polissage mécano-chimique utilisés pour fabriquer des substrats et des dispositifs en carbure de silicium pour l’industrie mondiale des semi-conducteurs.
À propos de SENIC, Inc. :
SENIC (http://www.senic.co.kr) est une entreprise innovante de fabrication de plaquettes de carbure de silicium. Implantée à Cheonan, en Corée du Sud, elle fournit des lingots et des substrats de carbure de silicium (SiC) de 150 mm et 200 mm pour la RF et l’électronique de puissance, ainsi qu’un service de récupération des plaquettes de SiC.
Contact pour les médias :
Bruce Ray
bruce.ray@revasum.com
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