SAN LUIS OBISPO, Californie, 13 juillet 2023 /PRNewswire/ — Revasum a annoncé aujourd’hui la publication d’améliorations apportées au logiciel de commande de son outil phare de Polissage Mécano-Chimique (CMP) du carbure de silicium, le 6EZ, qui permettent d’augmenter le débit du système de plus de 20 %. Les améliorations de débit sont incluses dans notre dernière version SW 3.1 et comprennent un certain nombre d’améliorations dans le logiciel de contrôle de la manipulation des plaquettes 6EZ. La mise à niveau a été déployée avec succès sur les systèmes de production 6EZ existants dans les usines de plusieurs clients de premier niveau. Ce logiciel réduit considérablement pour nos clients le coût d’exploitation par plaquette du 6EZ.
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« Le logiciel de contrôle de la manipulation des plaquettes des versions précédentes de 6EZ comprenait des mouvements de manipulation des plaquettes qui étaient optimisés pour certaines des premières formules de polissage du carbure de silicium, mais qui imposaient des contraintes inutiles pour les formules de production actuellement mises en œuvre par nos clients. En supprimant ces contraintes et en apportant d’autres améliorations à la manipulation des plaquettes, nous avons pu augmenter considérablement le débit de l’outil sans que sa fiabilité n’en pâtisse. Nous avons également veillé à ce que ces améliorations ne modifient pas les excellents résultats des formules de production actuellement utilisées par nos clients », a déclaré Bill Kalenian, vice-président de l’ingénierie chez Revasum.
« Depuis que nous avons atteint nos objectifs initiaux, à savoir démontrer la fiabilité des opérations à haut volume et la reproductibilité des résultats de polissage de haute qualité sur des substrats de carbure de silicium durs, il était temps pour Revasum de permettre à nos clients d’accroître leur productivité alors qu’ils passent à des volumes de production de plaquettes plus importants. SW 3.1 permet une augmentation significative de la productivité et comporte un certain nombre de nouvelles fonctionnalités qui amélioreront la flexibilité et la fiabilité du 6EZ dans le cadre d’une production en grande série », a déclaré Scott Jewler, PDG chez Revasum. « La version 3.1 du logiciel a été installée et mise en production chez plusieurs clients de premier plan dans le domaine des substrats en carbure de silicium et sera installée sur les futures commandes. »
À propos de Revasum, Inc. :
Revasum est spécialisée dans la conception et la fabrication d’équipements de meulage et de polissage pour la fabrication de semi-conducteurs. Revasum a mis à profit son important portefeuille de propriété intellectuelle pour développer deux produits phares conçus dès le départ pour le carbure de silicium. Les nouveaux produits sont configurables pour des tailles de plaquettes de carbure de silicium allant jusqu’à 200 mm.
Contact pour les médias :
Bruce Ray
bruce.ray@revasum.com
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